Полное описание
> Солдатенко, С. А. Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / С. А. Солдатенко. - Воронеж, 2004. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (16 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.33 | 621.315.592.9(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-15295)>
Шифр в сводном ЭК: f44e81ce9ed41db6b86ae5ec9962faa5
Заказ фрагмента документа ₽