Полное описание

Пределы взрываемости полупроводниковых газов / ВЦП. - 18 c. : ил. - Яп.яз. - Пер.ст. / Х. Отани из журн.: // Касай. - 1991. - Vol. 41, N 1. - P. 27-34. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 18 назв.
ГРНТИ 61.01.92

Рубрики:
Горючие газы
Предприятия электронной промышленности

Кл.слова (ненормированные): АРСИН -- БЕЗОПАСНОСТИ ТЕХНИКА -- ГЕРМАН -- ДИБОРАН -- ДИСИЛАН -- ДИХЛОРСИЛАН -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВ ПРОИЗВОДСТВО -- ПРОИЗВОДСТВО -- СЕЛЕНОВОДОРОД -- СИЛАН -- СТАННАН -- СТИБИН -- ТЕЛЛУРОВОДОРОД -- ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ -- ФОСФИН
Доп. точки доступа:
Отани, Х.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06934000860)

Шифр в сводном ЭК: f2dbf4e88670fd3dd3937de3feeafd34

Заказать издание
Заказ фрагмента документа