Полное описание

Светцов, В. И. Корпускулярно-фотонные процессы и технологии : учеб. пособие для спец. 25.10.00 - Хим. технология материалов и изделий электрон. техники / В.И.Светцов,С.А.Смирнов. - Иваново : [б. и.], 2000. - 192 с. : ил. - 150 экз. - ISBN 5-230-01493-8. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Иванов. гос. хим.-технол. ун-т. Библиогр.:с. 187-188 (26 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7

Рубрики:
Электронно-ионная обработка

Доп. точки доступа:
Смирнов, С.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-00/62516)

Шифр в сводном ЭК: f226b2cef767380d187b133c4672c055

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽