• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Capacitors integrated with a dielectric made of implanted silicon / P.Zukowski,J.Partyka,P.Wegierek,T.Maczka. - Dubna : [s. n.], 1996. - 6 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-96-440). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84(04)
    45.35621.319.4:621.382.002(04)

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство
    Конденсаторы полупроводниковые -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Zukowski, P.
    Partyka, J.
    Wegierek, P.
    Maczka, T.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Е14-96-440)

    Шифр в сводном ЭК: f066999e4eae52b2e2d015ed32ca60bf



    Заказ фрагмента документа