Полное описание

International statistical metrology workshop (2 ; 1997 ; Kyoto). Special section on 1997 International workshop on statistical metrology, Kyoto, 1997 / International statistical metrology workshop (2 ; 1997 ; Kyoto) ; Ed.: H. H. Hosack, H. Masuda. - New York, NY : IEEE, 1998. - 525-695 p. p. : ill. - (IEEE transactions on semiconductor manufacturing ; 1998,Vol.11,N 4). - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце статей. Указ. в конце книги

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(063)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Технический контроль -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
Доп. точки доступа:
Hosack, H.H.\ed.\
Masuda, H.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W10554/1998,Vol.11,N 4)

Шифр в сводном ЭК: f064750b7362bc9dc0c5fd78ded80602

Заказать издание
Заказ фрагмента документа