Полное описание

Гвоздев, В. В. Исследование магнетронных распылительных систем с жидкометаллическим катодом с целью увеличения производительности и снижения энергозатрат процесса катодного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.14 / В. В. Гвоздев. - М., 1999. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.182(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-8551)

Шифр в сводном ЭК: ecfd419afaa2ea96a51a6191ef990930

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽