Полное описание

Рыбкин, В. В. Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов : учеб. пособие / В.В.Рыбкин,В.И.Светцов. - Иваново : [б. и.], 1989. - 96 с. : ил. - 200 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Иванов. хим.-технол. ин-т. Библиогр.: с. 92-96 (65 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.382.002

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Светцов, В.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-89/69436)

Шифр в сводном ЭК: eb9018cc48ae7803b193f67a8a5b3dcf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽