Полное описание

Frey, H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey. - dusseldorf : VDI-Verl., 1992. - 131 S. : Ill. - ISBN 3-18-401069-4. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.123-129.Указ.:с.130-131

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): Геологическая литература - Геологический институт
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/17949)

Шифр в сводном ЭК: e9f968eeabfbcc7bece4151f04ebad36

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽