Полное описание

Коняев, И. В. Кинетика и механизмы плазмохимического травления танталата лития : специальность: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Коняев Иван Васильевич. - 2019. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.). - 60 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар20-853)

Шифр в сводном ЭК: e9df12685569923dd33a020380f73edd

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽