Полное описание

Тумаркин, А. В. Технология тонких пленок : текст лекций / А.В.Тумаркин,В.И.Шаповалов. - СПб. : СПбГТУ "ЛЭТИ", 2003. - 64 с. : ил. - 120 экз. - ISBN 5-7629-0512-8. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб. гос электротехн. ун-т "ЛЭТИ".Библиогр.: с. 63

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38-416

Рубрики:
Пленочная электроника

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Шаповалов, В.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-03/91018)

Шифр в сводном ЭК: e786e375e7b53814e658955b6f86c5fc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽