Полное описание

Ухов, А. А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов. - СПб, 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.13-14(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)
	621.3.049.76-416(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-6331)

Шифр в сводном ЭК: e69ffb41288719c362053a8eecdc39e8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа