Полное описание

Яфаров, Р. К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009 (Чебоксары). - 216 с. : ил. - Библиогр.: с. 205-216 (218 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-9221-1150-8 (). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.29.37	621.385.6
31.15.30	66.088

Рубрики:
СВЧ электроника
Плазмохимия

Аннотация: Современные тенденции и подходы к разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле. Опыт и результаты разработки физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/65091)

Шифр в сводном ЭК: e607cd7d122c4b9aebf31e6d106f9c63

Заказать издание
Заказ фрагмента документа