Полное описание

Карташов, Д. А. Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.13 / Д. А. Карташов. - М., 2014. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-26. - 18 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.3.049.76:658.562(043)
	621.38-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПРОИЗВОДСТВО -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
Аннотация: Разработаны новые методы обработки информативных сигналов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для получения более точной информации о характеристиках многослойных структур, применяемых в микро - и наноэлектронике (повышение точности данного метода контроля).
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-7265)

Шифр в сводном ЭК: e5ab314f3c76d49f22b9a86682dace5f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽