Полное описание

Боженов, А. В. Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. В. Боженов. - М., 2001. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. гос. ин-т стали и сплавов (технол. ун-т). Библиогр.:с. 23-25(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР01-5182)

Шифр в сводном ЭК: e5546d3e3c4e4ab20536bda4f1bde826

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽