Полное описание

Учебное пособие по курсу "Радиоматериалы и технологические основы микроэлектроники". Новые методы в технологии микроэлектроники / П.А.Арсентьев,Е.К.Копылова,В.А.Сурогина,Д.С.Холодный;Ред. В. А. Филиков. - М. : [б. и.], 1989. - 109 c. : ил. - Загл. обл. : Новые методы в технологии микроэлектроники. - 500 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. энерг. ин-т. Библиогр.: 108.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Арсентьев, П.А.
Копылова, Е.К.
Сурогина, В.А.
Холодный, Д.С.
Филиков, В.А.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-89/74911)

Шифр в сводном ЭК: e424cf967d0c9c854f72dde608c71581

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽