Полное описание

Зятьков, И. И. Базовые процессы планарной технологии : учебное пособие / И. И. Зятьков, А. Н. Кривошеева ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2018. - 62 с. : ил. - (Учебное пособие). - Библиогр.: с. 61. - 82 экз. - ISBN 978-5-7629-2380-4. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382-047.84

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Кривошеева, А.Н.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/74793)

Шифр в сводном ЭК: e3c585ca5f0db5eb614be4dfb0968b2e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа