Полное описание

Бойко, А. Н. Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Н. Бойко. - М., 2006. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.31	621.31-181.4-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-сф69)

Шифр в сводном ЭК: e2be8c784be7cfbcd3a2363f7e4cf610

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽