Полное описание

Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов / Под ред. К.А. Джексона, В. Шретера; Пер. с англ. под ред. Э.П. Домашевской. - Воронеж : Водолей, 2004 - . - Пер. изд. : Handbook of semiconductor technology. - Weinheim et al., 2000. - Текст : непосредственный.
Т. 2 : Технологические процессы. - 2011. - 908 с. : ил. - Библиогр.: с. 883-885. Предм. указ.: с.886-908. - 400 экз. - ISBN 978-5-9273-1883-4

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-047.84(03)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка -- Справочники

Аннотация: Технология выращивания и обработки кремния. Технология выращивания монокристаллов полупроводниковых соединении. Эпитаксиальное выращивание. Фотолитография. Селективное легирование. Процессы травления в производстве полупроводников. Приборы на кремниевых структурах. Устройство приборов на основе сложных полупроводников. Технология производства микроэлектронных приборов на основе кремния. Технология производства микроэлектронных приборов на основе полупроводниковых соединении. Сборка интегральных схем. Системы разводки.
Доп. точки доступа:
Джексон, К.А.\ред.\

Имеются экземпляры в отделах: всего -20130404 : ПНТ (-20130404)
Свободны: ПНТ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: фо25

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/17884/2)

Шифр в сводном ЭК: e1bce3d8438d56575e5dfc49b8d0242e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽