Полное описание

Сухова, А. В. Разработка промышленной технологической схемы синтеза трихлорсилана : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.17.01 / А. В. Сухова. - Волгоград, 2014. - 28 с. : ил. - Библиогр.: с. 28 (4 назв.). - Тираж не указ. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
61.37.37	661.718.5.091(043)

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИЕ СОЕДИНЕНИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-8374)

Шифр в сводном ЭК: dddd7a6de8edb9072f42f5ceec2dbac8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽