Полное описание

Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Комаров Ф. Ф. - Минск : Вышэйшая школа, 2022. - 248 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 25.07.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-985-06-3395-8. - Текст : электронный.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	621.9

	ББК
	34.55

Кл.слова (ненормированные): ДЕФЕКТ -- ИОННАЯ ОБРАБОТКА -- ИОННЫЙ ПУЧОК -- ЛЕГИРУЮЩИЙ АТОМ -- МАТЕРИАЛ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ОТЖИГ -- ФОТОННАЯ ОБРАБОТКА -- ЭЛЕКТРОНИКА
Аннотация: Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Доп. точки доступа:
Константинов, С. В.

Перейти к просмотру издания

Держатели документа:
Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : 143405, Московская область, г. Красногорск, ш. Ильинское, д. 1А, помещ. 17,6/ком. 5 (Шифр в БД-источнике (IPRBOOKS): 129933)

Шифр в сводном ЭК: dc9b42e598a55af44a8745d06c4af229

Просмотр издания ЭБС IPR SMART