Полное описание

Бобыль, А. В. Физико-химические основы технологии полупроводников. Пучковые и плазменные процессы в планарной технологии : учеб. пособие / А. В. Бобыль, С. Ф. Карманенко. - СПб. : Изд-во Политехн. ун-та, 2005 (СПб.). - 114 с. - Библиогр.: с. 113. - 100 экз. - ISBN 5-7422-0813-8. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петерб. гос. политехн. ун-т

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:621.9

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка

Доп. точки доступа:
Карманенко, С.Ф.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-05/26004)

Шифр в сводном ЭК: dc73128b0c3f888f6dbe8656f3a4dd02

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽