Полное описание

Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А.Ф.Буренков,В.А.Жук,А.И.Кирковский,В.А.Цурко. - Минск : [б. и.], 1991. - 25 c. - (Препринт / Институт математики(Минск) ; 3(453)). - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.001.57(04)

Рубрики:
Кремниевые структуры -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА -- МОДЕЛИРОВАНИЕ
Доп. точки доступа:
Буренков, А.Ф.
Жук, В.А.
Кирковский, А.И.
Цурко, В.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/32304/3(453))

Шифр в сводном ЭК: d91a2d452d3d1c3b00982f626a0c1dd9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽