• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А.Ф.Буренков,В.А.Жук,А.И.Кирковский,В.А.Цурко. - Минск : [б. и.], 1991. - 25 c. - (Препринт / Институт математики(Минск) ; 3(453)). - 120 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382.001.57(04)

    Рубрики:
    Кремниевые структуры -- Моделирование

    Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА -- МОДЕЛИРОВАНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Буренков, А.Ф.
    Жук, В.А.
    Кирковский, А.И.
    Цурко, В.А.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/32304/3(453))

    Шифр в сводном ЭК: d91a2d452d3d1c3b00982f626a0c1dd9



    Заказ фрагмента документа