Полное описание

Булыгина, Е. В. Формирование тонкопленочных структур с использованием матриц синтетического опала для изготовления газочувствительных элементов / Е. В. Булыгина, К. Н. Беседина, А. С. Власова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - С. 204-206. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 59.35.29 + 29.19.16

Кл.слова (ненормированные): диоксид олова
Аннотация: Результаты экспериментальных исследований газочувствительности тонких пленок диоксида олова различной толщины, осажденных на поверхность массивного образца синтетического опала. Технология формирования тонкопленочной структуры, предназначенной для использования в качестве газочувствительного элемента.
Доп. точки доступа:
Беседина, К.Н.
Власова, А.С.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -101358-920276)

Шифр в сводном ЭК: d6143f737ff2313c0ba336bed41c997c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽