Полное описание
> Левенец, В. В. Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец. - М., 1994. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:НИИ физ. пробл.им.Ф.В.Лукина.Библиогр.:с.19(6 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.33.31 | 621.3.049.77-047.84(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-5526)>
Шифр в сводном ЭК: d5803ab1a283097d1920e1b8426bc9cf
Заказ фрагмента документа ₽