• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Microcircuit engineering 92 : ME : proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani ; Ed.: H. Ryssel, D. Stephani. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1993. - 500 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; vol.21,N 1-4,1993). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей

    ГРНТИ УДК
    47.41621.3.049.77-047.84:776(062)
    47.01.13

    Рубрики:
    Электронолитография -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
    Доп. точки доступа:
    Ryssel, H.\ed.\
    Stephani, D.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.21,N 1-4,1993)

    Шифр в сводном ЭК: d371ffb5d9fb81d339ee76bb2f8b0f59



    Заказ фрагмента документа