Полное описание

Дюжев, Н. А. Элементный базис нано- и микросистемной техники : учебное пособие / Н. А. Дюжев, В. Ю. Киреев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2019. - 139 с. : ил. - Библиогр.: с. 136-137 (12 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7256-0924-0. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.07	621.384-022.532
47.33.37	621.3.049.76
47.33.31	621.3.049.77

Рубрики:
Наноэлектронные устройства
Микроэлектронные приборы
Интегральные схемы

Аннотация: Посвящено актуальным вопросам современного развития микроэлектроники и её перспективного направления –нано-и микросистемной техники. Рассмотрены основные производственные технологии создания элементного базиса НМСТ на примере реальных изделий, изготовляемых на технологической линейки Центра коллективного пользования " Микросистемная техника и электронная компонентная база" при НИУ "МИЭТ".
Доп. точки доступа:
Киреев, В.Ю.
"МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/75935)

Шифр в сводном ЭК: cf851cb71812a57af5617a686c333304

Заказать издание
Заказ фрагмента документа