Полное описание

Уткин, А. Б. Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10,05.13.16 / А. Б. Уткин. - СПб, 1999. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург. ун-т. Библиогр.:с. 15-17

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.08(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-5805)

Шифр в сводном ЭК: cf3293ee9c09b9fe7bd09240fe785f3f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа