Полное описание

Зятьков, И. И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко. - СПб : [б. и.], 1994. - 6 c. : ил. - 150 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина).Библиогр.:с.66(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669

Рубрики:
Ионное внедрение -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ
Доп. точки доступа:
Юрченко, Е.П.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/20282)

Шифр в сводном ЭК: cd4a1e09c1c5ea7ea3be5c463d38e115

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽