Полное описание

Kawanami, H. Study of the initial stages of molecular beam epitaxial growth of III-V compound semiconductors on silicon / H. Kawanami. - Tokyo : [s. n.], 1991. - 87 p. : ill. - (Researches / Electrotechn.lab., ISSN 0366-9106 ; n922). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.78-87
Перевод заглавия: Изучение начальных стадий молекулярно-пучкового эпитаксиального роста пленок полупроводников III-V групп на кремнии

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПЛЕНКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПЛЕНКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/1872/922)

Шифр в сводном ЭК: ccecf39978de9c4736e7041f1b4d82e4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽