Полное описание

Вакуумная ионно-плазменная обработка : учеб. пособие / А. А. Ильин [и др.]. - М. : Альфа-М : Инфра-М, 2014. - 157 с. : ил. - (Современные технологии). - Авт. указ. в вып. дан. - Библиогр.: с. 150-155 (51 назв.). - 1000 экз. - ISBN 978-5-98281-366-4. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.74
	621.793.184

Рубрики:
Металлизация плазменная
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Ильин, А.А.
Плихунов, В.В.
Петров, Л.М.
Спектор, В.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-14/925)

Шифр в сводном ЭК: cb57687f6c92172da9320c27b6ede6f5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽