Полное описание

Марголин, В. И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2000. - 55 с. : ил. - 75 экз. - ISBN 5-7629-0297-8. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб.гос.электротехн.ун-т "ЛЭТИ".Библиогр.:с.54

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776
	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Электронолитография
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Тупик, В.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-00/54763)

Шифр в сводном ЭК: cb16e7711dd7c1ee32a552692adc2f0b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽