Полное описание

Ouwerling, G. J.L. Nondestructive one- and two-dimensional doping profiling by inverse methods : diss. / G.J.L.Ouwerling. - Delft, 1989. - 193 p. : ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:c.165-183

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.002:658.562(043)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Дефектоскопия

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/21858)

Шифр в сводном ЭК: c5de882311ee3114abb46a0c277e2bfb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа