• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Development of an experimentally validated model of megasonic cleaning / D.B.Kettelson,T.H.Kuehn,D.Zhang,Y.Wu. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1994. - 45 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 94/244). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:в книге

    ГРНТИ УДК
    47.13.14621.383.002

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Очистка

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    Kettelson, D.B.
    Kuehn, T.H.
    Zhang, D.
    Wu, Y.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/94/244)

    Шифр в сводном ЭК: c4cfd88ad8df7436a41359310ec0ab36



    Заказ фрагмента документа