Полное описание

Блюмкина, Ю. А. Приборная пороговая чувствительность модуляционного нуль-эллипсометра: вывод, исследование и сравнительный анализ / Ю.А.Блюмкина,А.В.Архипенко. - Новосибирск : [б. и.], 1989. - 30 с. - (Препринт ; 45). - 150 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 29-30 (13 назв.)

ГРНТИ	УДК
90.27.37	681.785.35(04)

Рубрики:
Эллипсометры -- Чувствительность

Кл.слова (ненормированные): ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- ЭЛЛИПСОМЕТР
Доп. точки доступа:
Архипенко, А.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/19085/45)

Шифр в сводном ЭК: c4ad90b3f41d2228b1b2b3e1559b3e6e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽