Полное описание

Кузмичев, А. В. Исследование процессов импульсивного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.21 / А. В. Кузмичев. - М., 1995. - 23 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос. АН. Ин-т общ. физики. Библиогр.: с.23 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-2999)

Шифр в сводном ЭК: c1b94662de4fc8e6bddf73365bc54c3f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽