Полное описание

Эмексузян, В. М. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. М. Эмексузян. - Новосибирск, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: 16-18(21 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.002(043)
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-3550)

Шифр в сводном ЭК: be31e3be32198132498c394422afc64f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа