Полное описание

Fruhauf, J. Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique : a man. of wet-etched silicon structures / J. Fruhauf. - Berlin [etc.] : Springer, 2005. - XII, 221 p. : ill. - Библиогр. в конце глав. Указ.: с. 217-221. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.9

Рубрики:
Кремниевые структуры

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27432)

Шифр в сводном ЭК: bd690dfc15e2c043c30e0aa1312c1e45

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽