Полное описание

Яфаров, Р. К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий : монография / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 217 с. - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=76739 (дата обращения: 30.10.2023) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - ISBN 978-5-9221-1150-8. - Текст : электронный.

	УДК
	533.9

	ББК
	30.61

Аннотация: В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
Доп. точки доступа:
Физматлит

https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=76739

Держатели документа:
ЭБС Университетская библиотека онлайн : 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, стр. 3 (Шифр в БД-источнике (BIBLIO): 76739)

Шифр в сводном ЭК: bb0a7a032afd962e51d2487bc04402d3

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация