Полное описание

Springer series in advanced microelectronics / ed. K. Itoh [et al.]. - Berlin [etc.] : Springer, 20 - . - Текст : непосредственный.
19 : Gettering defects in semiconductors / V. A. Perevostchikov, V. D. Skoupov. - Berlin [etc.] : Springer, 2005. - XV,386 p. : ill. - Библиогр.: с. 343-366. Указ.: с. 367-386

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Itoh, K.\ed.\
Skoupov, V.D.

Копия:

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/18192/19)

Шифр в сводном ЭК: ba333bf4309a280971b7006e9576f9ef

Заказать издание
Заказ фрагмента документа