Полное описание

Шарафеев, Р. Ф. Поток высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах взаимодействия с поверхностью материалов : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.02.05 / Р. Ф. Шарафеев. - 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 (19 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.21.99	621.9.04:533.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-14317)

Шифр в сводном ЭК: b93bacdbd6039578900ced7137092cfb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽