Полное описание

Безбабный, Д. А. Исследование формирования, структуры и свойств пленок полупроводниковых силицидов кальция на Si(111) : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Д. А. Безбабный. - 2014. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18 . - 110 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
Аннотация: Формирование полупроводниковых силицидов кальция (Ca₂Si и Ca₃Si₄) на Si(111) в виде пленок различной толщины на кремниевых подложках, гетероструктур Si/Ca_xSi/Si на их основе и определение оптических и электрических параметров пленок и гетероструктур.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-3711)

Шифр в сводном ЭК: b78ac6f9b8dcf43e8a66e8274b89760a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽