Полное описание

Шевяков, В. И. Омические и выпрямляющие контакты в ИС : учеб.пособие / В.И.Шевяков. - М. : [б. и.], 1999. - 55 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0212-5. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники.Библиогр.:с.54 (7 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.59.37	621.3.049.771.14.002
47.33.31

Рубрики:
Контакт металл-полупроводник
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- КОНТАКТ МЕТАЛЛ-ПОЛУПРОВОДНИК -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-99/52212)

Шифр в сводном ЭК: b6b648893e9af9db88a41d6cf7756369

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽