Полное описание

Эннс, Я. Б. Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Я. Б. Эннс. - 2018. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 (18 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МУЛЬТИСТАБИЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- УПРУГИЕ ПОДВЕСЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-10546)

Шифр в сводном ЭК: b68fe85e73f06fb1761b3e95990c40d0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа