Полное описание

Каракеян, В. И. Анализ и перспективы развития методов контроля высокочистых веществ в микро и наноэлектронике / В. И. Каракеян, Т. И. Хаханина. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - С. 136-142.
ГРНТИ 47.09.63 + 90.27.31

Аннотация: Рассмотрено определение примесей в высокочистых реагентах на уровне международных стандартов. Описаны особенности методологии контроля высокочистых реактивов наномикроэлектронного производства.
Доп. точки доступа:
Хаханина, Т.И.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20110502 : ЭКО (-20110502)
Свободны: ЭКО (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -080513-303895)

Шифр в сводном ЭК: b6511a20305d5deb26424e989a184bf9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽