Полное описание

Применение Dual-beam технологии для создания прототипа матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах / Ю. В. Ануфриев, Е. В. Зенова, П. К. Кондратьев [и др.]. - Текст : непосредственный // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010 (МЭС - 2010) : сб. тр. IV Всерос. науч.-техн. конф., 4-8 окт. 2010 г., Москва. - М., 2010. - С. 658-661. - Библиогр.: 7 назв.
ГРНТИ 47.14.15 + 50.11.31

Кл.слова (ненормированные): халькогениды
Аннотация: Рассмотрен один из возможных способов создания прототипа матрицы ячеек энергонезависимой памяти с использованием Dual-beam технологии.
Доп. точки доступа:
Ануфриев, Ю.В.
Зенова, Е.В.
Кондратьев, П.К.
Балашов, Д.С.
Сальников, С.М.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -818387-482140)

Шифр в сводном ЭК: b588e2ac22852c63926f2e866cbc4177

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽