Полное описание

Material- und Verfahrensentwicklung fur mikrotechnische Hochleistungsbauteile : сборник научных трудов / Zusgest. K.-H. Zum Gahr. - Karlsruhe : [s. n.], 2001. - 144 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6662). - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст. Указ.: с.144

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4

Рубрики:
Миниатюрные изделия

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Zum Gahr, K.-H.\zusgest.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6662)

Шифр в сводном ЭК: b56376885ab887fca5e1290dc1783584

Заказать издание
Заказ фрагмента документа