Полное описание

Laconte, J. Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration / J. Laconte, D. Flandre, J. -P. Raskin ; SpringerLink (Online service). - Boston, Ma : Springer, 2006. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0. - ISBN 0-387-28843-0. - Текст : электронный.

ГРНТИ	УДК
50.09.37	681.586
47.33	621.315.592.9

Рубрики:
Датчики
Кремниевые структуры

Доп. точки доступа:
Flandre, D.
Raskin, J.-P.
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 681.586/L12-991959)

Шифр в сводном ЭК: b0ae8e7af3fe2fdabb2c3d37d0ea1300

Просмотр издания