Полное описание
> Santos, H. J. Principles and applications of nanomems physics / H. J. Santos ; SpringerLink (Online service). - Boston, Ma : Springer, 2005. - on-line. - (Microsystems ; 15). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/b136228. - ISBN 978-0-387-25834-8. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
45.53 | 621.31-181.4 | |
620.3 |
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)
http://dx.doi.org/10.1007/b136228
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.31-181.4/S20-317080)>
Шифр в сводном ЭК: b07560892bce909ae46a62096ea2c248
Просмотр издания