Полное описание

Каракеян, В. И. Анализ современных средств стабилизации микроклимата в чистых помещениях микро- и наноэлектроники / В. И. Каракеян, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - С. 127-135.
ГРНТИ 47.01.93

Аннотация: Рассмотрена стабилизация значений температуры и влажности в чистых помещениях производств микро- и наноэлектроники. Описаны технические решения и системы обеспечения микроклимата рабочих зон чистых помещений. Дан анализ различных режимов охлаждения и осушения воздуха в таких помещениях.
Доп. точки доступа:
Севрюкова, Е.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20110502 : ЭКО (-20110502)
Свободны: ЭКО (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -082804-591929)

Шифр в сводном ЭК: af3d31eee95e1867a24f76edb5fbc445

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽