Полное описание

Беневоленский, С. Б. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.27.01 / С. Б. Беневоленский. - М., 2000. - 37 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 28-33(40 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.315.592.002:621.79(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-сф114)

Шифр в сводном ЭК: ae207389b491c169e8c5e74bd9347f27

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽